DG-300-11高壓風機在半導(dǎo)體設(shè)備中有哪些作用

DG-300-11高壓風機在半導(dǎo)體設(shè)備中有哪些作用

DG-300-11高壓風機在半導(dǎo)體設(shè)備中通過提供穩(wěn)定氣流與壓力環(huán)境，在顆粒物清理、正壓維持、氣體輸送、散熱管理、局部真空生成、廢氣處理、設(shè)備輔助運行等關(guān)鍵環(huán)節(jié)發(fā)揮主要作用，其性能直接影響半導(dǎo)體制造的潔凈度、工藝穩(wěn)定性及良率。以下為具體作用分析：

顆粒物清理與潔凈度維護
主要作用：半導(dǎo)體制造對潔凈度要求高（如ISO 1級無塵室），微小顆粒污染會導(dǎo)致晶圓缺陷。DG-300-11高壓風機通過產(chǎn)生高壓氣流，可吹除設(shè)備內(nèi)部及晶圓表面的微小顆粒（如塵埃、金屬碎屑），防止污染晶圓，保障光刻、蝕刻等工藝的精度。
應(yīng)用場景：在光刻機內(nèi)部、晶圓傳輸軌道等關(guān)鍵區(qū)域，高壓氣流持續(xù)清潔環(huán)境，避免顆粒吸附在晶圓表面引發(fā)圖案畸變或電路短路。
正壓維持與污染隔離
主要作用：通過向關(guān)鍵區(qū)域（如光刻機內(nèi)部、蝕刻腔體）持續(xù)輸送高壓過濾空氣，形成正壓環(huán)境，阻止外部污染物（如灰塵、化學氣體）侵入，保護精密設(shè)備與工藝過程。
應(yīng)用場景：在光刻機曝光過程中，正壓環(huán)境可防止外部顆粒進入掩模版與晶圓之間，確保圖案轉(zhuǎn)移精度；在蝕刻工藝中，正壓隔離可避免腐蝕性氣體泄漏，保護設(shè)備部件。
氣體輸送與工藝控制
主要作用：在蝕刻、沉積（CVD/PVD）等工藝中，DG-300-11高壓風機將特種氣體（如氬氣、氮氣）以穩(wěn)定壓力和流量輸送到反應(yīng)腔體，確保工藝均勻性與重復(fù)性。
應(yīng)用場景：在蝕刻工藝中，高壓風機輸送的蝕刻氣體需精確控制流量與壓力，以實現(xiàn)納米級線寬的精確刻蝕；在薄膜沉積工藝中，氣體均勻分布是保證薄膜厚度一致性的關(guān)鍵。
散熱管理與溫度控制
主要作用：半導(dǎo)體設(shè)備中的高功率組件（如激光器、等離子體發(fā)生器）易過熱，影響精度與壽命。DG-300-11高壓風機通過強制風冷，為這些組件提供高效散熱，防止熱變形或性能衰減。
應(yīng)用場景：在極紫外（EUV）光刻機中，高壓氣流用于冷卻光源，防止熱膨脹導(dǎo)致鏡面變形；在蝕刻設(shè)備中，風冷系統(tǒng)可維持腔體溫度穩(wěn)定，確保蝕刻速率一致性。
局部真空生成與廢氣處理
主要作用：配合真空泵系統(tǒng)，DG-300-11高壓風機可快速排除工藝廢氣（如蝕刻副產(chǎn)物、光刻膠揮發(fā)物）或維持局部低壓環(huán)境，同時將有害氣體吹掃至處理系統(tǒng)，防止污染擴散。
應(yīng)用場景：在蝕刻工藝后，高壓風機協(xié)助真空泵快速排出腔體內(nèi)殘留氣體，縮短工藝周期；在廢氣處理系統(tǒng)中，氣流將有害氣體輸送至過濾裝置，確保排放達標。
設(shè)備輔助運行與工藝優(yōu)化
主要作用：DG-300-11高壓風機還支持半導(dǎo)體設(shè)備的輔助功能，如晶圓搬運、干燥清潔等，提升整體運行效率與工藝質(zhì)量。
應(yīng)用場景：在晶圓搬運系統(tǒng)中，高壓氣流通過氣浮技術(shù)實現(xiàn)非接觸式懸浮搬運，避免機械接觸導(dǎo)致的晶圓損傷；在清洗或干燥步驟中，高壓氣流可快速去除殘留液體或顆粒，縮短工藝時間。